TY - JOUR ID - 10.13675/j.cnki.tjjs.200482 TI - 电推进羽流粒子束溅射的蒙特卡罗模拟 AU - 商圣飞,姜利祥,李涛,向树红 VL - 43 IS - 5 PB - SP - 399 EP - 407 PY - JF - 推进技术 JA - 推进技术 UR - http://www.tjjscasic.cn/tjjs/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=202205041&flag=1 KW - 推力器;电推进;羽流;溅射;碰撞;蒙特卡罗模拟;粒子束 KW - Thruster;Electric propulsion;Plume;Sputtering;Impact;Monte Carlo simulation;Particle beam AB - 为了研究电推进羽流对推力器及航天器造成的溅射腐蚀作用,采用蒙特卡罗方法对羽流等离子体对材料的溅射进行模拟,研究了溅射的级联碰撞机理,并开展了Xe离子正入射、斜入射Cu材料的溅射率、溅射产物的能量分布以及空间角分布的研究。结果显示,蒙特卡罗方法对溅射率和能量分布的计算结果与试验结果吻合较好,误差<30%,但是斜入射溅射率和方向分布吻合较差,最大误差>50%。认为影响溅射的主要因素为晶体的结构、二体碰撞的基本假设以及入射粒子的注入累积效应。 ER -